中西nakanishi氣浮主軸ABT-1600，半導體制造精加工

中西Nakanishi氣浮主軸ABT-1600是一款高性能的氣動主軸，以下是對其的詳細介紹：

一、產品概述

中西Nakanishi氣浮主軸ABT-1600，又稱為空氣軸承渦輪主軸，以其高速運轉、高精度加工和免維護等特點，在制造業中得到了廣泛應用。該主軸通過空氣壓力使主軸在懸浮無接觸狀態下旋轉，減少了機械摩擦和振動，進一步提高了加工精度。

二、主要特點

高速運轉：ABT-1600氣浮主軸的轉速高達160,000轉/分鐘，這使得它能夠在短時間內完成大量的加工任務，提高生產效率。

高精度加工：主軸跳動精度在1μm以內，對于半導體晶圓這種對表面光潔度和尺寸精度要求極高的工件來說至關重要。高精度的主軸能夠確保在加工過程中工件表面的均勻性和一致性，減少表面缺陷和誤差。

免維護：由于空氣軸承渦輪主軸的潤滑介質是空氣，因此無需定期更換潤滑油，減少了維護成本和維護周期。

噪音低：空氣軸承渦輪主軸的非接觸式軸承結構可以避免機械軸承因摩擦產生的噪音，從而實現了噪音更低的加工環境。

負載能力強：空氣軸承渦輪主軸采用非接觸式軸承結構，可以避免傳統機械軸承因負載過大導致的軸承磨損和失效，因此負載能力更強。

環保節能：空氣軸承渦輪主軸的潤滑介質為空氣，無需使用潤滑油，從而減少了環境污染和能源消耗。

三、產品參數

類型：氣動主軸

最高轉速：160,000轉/分鐘

主軸跳動精度：1μm以內

最大輸出：63W

夾頭：CHA組（φ0.5~4.0mm）

重量：570g（或0.07kg，不同來源數據有差異，但均表示該主軸重量較輕）

軸承氣壓：0.5MPa（空氣消耗量：35/min）

渦輪空氣壓力：0.5MPa（空氣消耗量：150/min）

軸承許用載荷能力：徑向10N或更小，推力20N或更小

四、應用領域

ABT-1600氣浮主軸適用于對加工精度要求較高、加工速度要求較快、對表面質量要求較高的工件加工。具體應用領域包括但不限于：

半導體制造：在半導體晶圓研磨中展現出了卓越的性能，能夠確保晶圓表面的均勻性和一致性，減少表面缺陷和誤差。

精密機械加工：可用于高光、銑槽、銑削等多種加工任務，提高加工精度和生產效率。

模具制造：在模具的精密加工中，ABT-1600氣浮主軸能夠提供穩定、精確的切削性能，確保模具的精度和壽命。

五、注意事項

刀具選擇：ABT-1600氣浮主軸適用于小直徑刀具的夾持，夾持范圍為φ0.5~4.0mm。在選擇刀具時，需確保刀具柄徑符合主軸的夾持范圍。

供氣要求：空氣軸承主軸需要清潔干燥的空氣。在供氣時，需確保氣壓穩定且空氣干燥無雜質。

轉速與懸伸范圍：在使用時，需根據加工需求選擇合適的轉速，并確保帶軸的磨石和工具安裝在規定的懸伸范圍內。如果工具的總長度超過規定范圍，需在使用前進行切割。

綜上所述，中西Nakanishi氣浮主軸ABT-1600以其高速運轉、高精度加工和免維護等特點，在制造業中發揮著重要作用。在選擇和使用時，需充分了解其性能參數和應用領域，并根據實際需求進行合理的配置和操作。