ABT-1000氣浮主軸，10萬轉半導體晶圓研磨工具

　　ABT-1000氣浮主軸是一款由日本Nakanishi（中西）公司生產的精密氣動主軸。

       以下是關于ABT-1000氣浮主軸的詳細介紹：

　　一、主要特點

　　高速運轉：ABT-1000氣浮主軸的轉速高達100,000轉/分鐘，能夠快速完成加工任務，顯著提高生產效率。

　　高精度加工：主軸跳動精度在1μm以內，確保了加工工件的精度和表面光潔度，滿足高精度加工需求。

　　長壽命：采用空氣軸承技術，避免了傳統機械軸承因摩擦而產生的磨損和失效，從而延長了主軸的使用壽命。

　　低噪音：空氣軸承的非接觸式結構減少了機械摩擦和振動，降低了加工過程中的噪音，提供舒適的加工環境。

　　環保節能：空氣軸承主軸的潤滑介質為空氣，無需使用潤滑油，減少了環境污染和能源消耗。

　　二、應用領域

　　半導體制造：在半導體晶圓的研磨、切割等工藝中，ABT-1000氣浮主軸能夠提供穩定、精確的切削性能，確保晶圓的精度和表面光潔度。

　　精密機械加工：可用于高光、銑削、鉆孔等多種精密機械加工任務，提高加工精度和生產效率。

　　模具制造：在模具的精密加工中，ABT-1000氣浮主軸同樣能夠提供穩定、精確的切削性能，確保模具的精度和壽命。

　　三、產品參數

　　類型：氣動主軸

　　外徑：Φ40mm

　　最高轉速：100,000轉/分鐘

　　主軸跳動精度：1μm以內

　　輸出功率：88W

　　夾頭：CHA組（可夾持刀具柄徑范圍為φ0.5~φ4.0mm）

　　重量：約820g

　　軸承氣壓：0.55MPa

　　四、使用注意事項

　　供氣要求：空氣軸承主軸需要清潔干燥的空氣。在供氣時，需確保氣壓穩定且空氣干燥無雜質。

       同時，應始終向空氣軸承供氣，即使在主軸停止時也需保持供氣狀態。

　　操作規范：在使用ABT-1000氣浮主軸時，需遵循操作規范，避免主軸和軸承在無供氣狀態下旋轉或更換工具/夾頭。

      以防止損壞接觸區域并妨礙其正常工作。