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    ABT-1000氣浮主軸,10萬轉半導體晶圓研磨工具

    文章出處:深圳市春亨工具儀器有限公司 人氣:-發表時間:2025-02-28 09:22:00

      ABT-1000氣浮主軸是一款由日本Nakanishi(中西)公司生產的精密氣動主軸。

           以下是關于ABT-1000氣浮主軸的詳細介紹:


      一、主要特點

    ABT-1000中西精密氣浮主軸.png


      高速運轉:ABT-1000氣浮主軸的轉速高達100,000轉/分鐘,能夠快速完成加工任務,顯著提高生產效率。

      高精度加工:主軸跳動精度在1μm以內,確保了加工工件的精度和表面光潔度,滿足高精度加工需求。

      長壽命:采用空氣軸承技術,避免了傳統機械軸承因摩擦而產生的磨損和失效,從而延長了主軸的使用壽命。

      低噪音:空氣軸承的非接觸式結構減少了機械摩擦和振動,降低了加工過程中的噪音,提供舒適的加工環境。

      環保節能:空氣軸承主軸的潤滑介質為空氣,無需使用潤滑油,減少了環境污染和能源消耗。


      二、應用領域

    光學鏡片研磨拋光加工 (2).jpg


      半導體制造:在半導體晶圓的研磨、切割等工藝中,ABT-1000氣浮主軸能夠提供穩定、精確的切削性能,確保晶圓的精度和表面光潔度。

      精密機械加工:可用于高光、銑削、鉆孔等多種精密機械加工任務,提高加工精度和生產效率。

      模具制造:在模具的精密加工中,ABT-1000氣浮主軸同樣能夠提供穩定、精確的切削性能,確保模具的精度和壽命。


      三、產品參數


      類型:氣動主軸

      外徑:Φ40mm

      最高轉速:100,000轉/分鐘

      主軸跳動精度:1μm以內

      輸出功率:88W

      夾頭:CHA組(可夾持刀具柄徑范圍為φ0.5~φ4.0mm)

      重量:約820g

      軸承氣壓:0.55MPa


      四、使用注意事項

    氣懸浮主軸外觀.jpg

      供氣要求:空氣軸承主軸需要清潔干燥的空氣。在供氣時,需確保氣壓穩定且空氣干燥無雜質。

           同時,應始終向空氣軸承供氣,即使在主軸停止時也需保持供氣狀態。

      操作規范:在使用ABT-1000氣浮主軸時,需遵循操作規范,避免主軸和軸承在無供氣狀態下旋轉或更換工具/夾頭。

          以防止損壞接觸區域并妨礙其正常工作。


    此文關鍵字:ABT-1000 半導體精加工 晶圓切割

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